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低漏电矩阵开关

RM1010-LLC

低泄漏开关矩阵


联讯仪器RM1010-LLC 4槽型半导体开关矩阵主机配合S3022F台式源表或S2012C PXle插卡式源表可满足半导体高速测试应用。RM1010-LLC可支持多种开关矩阵卡,具有很高性价比,适合工程应用。RM1010-LLC的上位机应用软件亦在加快开发新测试功能的开发时间,简化系统集成难度。RM1010-LLC支持传统的SCPI命令,让测试代码的迁移变得轻松快捷,可支持多机并联,集成到生产测试系统中使用,以提高系统的测试效率并降低成本。前面板界面简化了手动编程,让您一眼就能确认开关状态。

特点

  • 设计灵活

    14 路输入和 48 路输出
    (低泄漏矩阵配置多达96交叉节点)
  • 高分辨率

    测量分辨率20 pA
    使用 S3012H、S3022F、S2011C或S2012C SMU
  • 快速测量

    瞬时电流稳定时间< 3.5 秒
    (< 450 fA)(10 V 输入步进)
  • 高速信号测量

    10 MHz 带宽(-3 dB)
  • 灵活配置

    模块化设计
    支持 x12、x24、x36和x48三轴输出配置
  • LED显示面板

    全新的前面板设计,更容易手动操作
  • GUI控制软件

    无需编程即可从 PC 进行远程测量和控制
  • 测试便捷

    支持传统的SCPI命令

功能与优势

  • 设计灵活

    14 路输入和 48 路输出(低泄漏矩阵配置多达96交叉节点); 使用 S3012H、S3022F 、S2011C或 S2012C SMU,通过开关可实现 20 pA的测量分辨率









技术指标



输入通道数量
2(Low Leakage I-V Port)
6(General I-V Port)
2(C-V Port)
2(DMM Port)
2(PGU Port)
输出通道数量 12/24/36/48
额定电流(Max.) 1 A
额定电压(Max.) 200 V(Channel to Ground)
300 V (Channel to Channel)


通道导通电阻
0.6 Ω(Low Leakage I-V Port)
1.0 Ω(General I-V Port)
1.0 Ω(C-V, HF Port)


通道绝缘电阻1
1013 Ω(Low Leakage I-V Port)
1012 Ω(General I-V Port)
109 Ω(C-V, HF Port)





典型参数
失调电流 <0.1 pA(Low Leakage I-V Port)
<1000 pA(General I-V Port)


失调电压
<80 uV(Low Leakage I-V Port)
<110 uV(General I-V Port)
<110 uV(C-V, HF Port)
通道串扰电容 <0.3 pF/CH
电容测量误差 <±1%±0.5 pF(C-V Port)







通用指标
通信接口 USB/LAN
供电 100/120/220/240 V ± 10%, 47 Hz to 63 Hz
最大功率 100 W
带宽(@ -3dB) <10 MHz (C-V, HF Port)
继电器触点寿命 大于108
瞬时电流稳定时间 < 3.5 S(< 450 fA)(@10 V 输入步进)
环境 在室内设施中使用
工作 0 ℃ 至 +40℃,5 % 至 80 % 相对湿度无冷凝
储存 -40 ℃ 至 70 ℃,5 % 至 90 % 相对湿度无冷凝
海拔 高度工作:0 m 至 2000 m,储存:0 m 至 4600 m


Note:
1、绝缘电阻测试环境:23 ℃ ± 5 ℃, 5% to 60% RH


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