测试项

TDDB/HCI/NBTI/EM

并测数

系统

768 DUTs（Max）

单板

32 DUTs（Max）

单板源

30 Source

电压

±(20V~3500V)

电压精度

±20V

0.2%RD±5mV

±200V

0.2%RD±50mV

±2000 V

0.2%RD±200mV

±3500 V

0.2%RD±300mV

电压分辨率

10 μV

电流精度

10mA~100mA

0.2%RD±500μA

1mA~10mA

0.2%RD±50μA

100μA~1mA

0.2%RD±500nA

10μA~100μA

0.2%RD±50nA

1μA~10μA

0.2%RD±5nA

100nA~1μA

0.2%RD±500pA

10nA~100nA

0.2%RD±50pA

1nA~10nA

0.2%RD±5pA

10pA~1nA

0.2%RD±200fA

电流分辨率

10 fA

温度范围

(RT+10℃)～+200℃ (TDDB/HCI/NBTI)
(RT+10℃)～+350℃ (EM)

其他

Support  On-the-fly Test

Support Vth Scan:0~200V

Support Vramp Test

Over Voltage/Current monitor

电压源/表指标

电压精度

量程

分辨率

精度(1年)

±(%读数+偏置)

典型噪声(有效值)

 0.1 Hz-10Hz

高压源

±3500 V

40 mV

0.02%+600 mV

50 mV

±1500 V

20 mV

0.02%+300 mV

25 mV

±600 V

7mV

0.02%+120 mV

10 mV

低压源

±200 V

100 μV

0.02% + 40 mV

1mV

±20 V

10 μV

0.02% + 5 mV

200μV

±6 V

1 μV

0.02% + 500 μV

60μV

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

设置时间

<±1% (典型值， Normal,步进是范围 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)

过冲

<±0.1%(典型值，满量程点，电阻性负载测试)

电流源/表指标

电流精度

量程

分辨率

精度(1 年)

±(%读数+偏置)

典型噪声(有效值)

0.1 Hz-10Hz

±15 mA

10 nA

0.02% +2 μA

±15 mA

±1.5 mA

1 nA

0.2% + 150 nA

±1.5 mA

±150 μA

100 pA

0.2% + 20 nA

±150 μA

±15 μA

10 pA

0.2% +3 nA

±15 μA

±1.5 μA

1 pA

0.3% + 600 pA

±1.5 μA

±150 nA

100fA

0.5% + 300 pA

±150 nA

±10 nA

10 fA

0.5% + 5 pA

1 pA

温度系数

±(0.15×精度指标)/°C(0℃-18℃，28℃-50℃)

设置时间

<±1% (典型值，Normal，步进是范围的10%至90%)

过冲

<±0.1%(典型值，满量程点，电阻性负载测试)