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半导体
高精度源表在晶圆暗电流测试中的规模应用
2022.07.17 

大多数光电探测器即使在没有任何光输入的情况下,也常常存在一些微量的直流电流,我们称之为暗电流。
在半导体光电探测器中,暗电流通常是样品在外延生长中引入的晶格缺陷(体表以及体内)以及器件制备工艺中引入的晶格损伤(如刻蚀)导致的局部击穿漏电效应,也是光电探测器制备过程中较为棘手的问题。
联讯仪器晶圆暗电流测试机采用联讯仪器自研高精度源表(SMU)进行暗电流的测试,支持384个SMU通道的大容量测试,各种特殊设计的保护电路,可以保护测试中的震荡及避免EOS的产生。



整套ST6200全机架满配最大可支持384个标准SMU通道,由于64个通道公用一个通信接口,所以ST6200最多可同时支持6个Test Head。
系统可以采用联讯插卡式SMU,也可以用市场上标准商用SMU。
测试系统支持商用探针台,或者客户指定探针台。
灵活的配置,强大的测试能力,充分满足大规模晶圆生产的暗电流测试,降低测试成本。

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