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半导体晶圆测试机

WAT6200S

联讯仪器WAT串行参数测试机台 WAT6200S是一台串行半导体参数测试系统,可灵活配置Pin数,最多支持48Pin,兼容市场主流WAT程序探针卡、应用等。

特点

  • 支持多种晶圆的WAT测试

    支持Si/GaN/SiC
  • 灵活配置Pin数

    最多支持48Pin,可灵活配置Pin数
  • 自研SMU

    基于商用与联讯自有SMU板卡
  • 高精度

    电流测量精度<10pA,分辨率10fA,最大范围1A;
    电压测量精度<100uV,分辨率100nV,最大范围200V
  • 电容测试频率

    1KHz到1MHz,1fF到100nF测量范围
  • 支持所有主流Prober

    TEL P8/P12,TSK UF200/UF3000等
  • 高适配、全兼容

    适配是德4070/4080机台所用的探针卡;
    完全兼容4070/4080测试程序和Algo算法
  • 高效的ptSEMIGHT软件环境

    软件支持SECS/GEM,可接入客户EAP

功能与优势

  • 自研高精度源表,性能经济性更有优势

    自研多种SMU板卡:
    标准SMU(MPSMU):200V/100mA, <10pA精度,10fA分辨率
    高功率SMU(HPSMU):200V/1A,<30pA精度,10fA分辨率
    高精度SMU(HRSMU):200V/100mA, <1pA精度,1fA分辨率
    并行测试的架构设计,提高测试效率
    Pin数量等于SMU通道数量的
参数/配置 功能
系统pin数 3 - 48pin
SMU数量 3 – 8个
标准SMU 200V/1A
Chuck Bias SMU 60V/1A
开关矩阵 10x48,<5fA漏电流
最小电压分辨率 100nV
最小电流分辨率 10fA
采样速度 >1M/s
最小电流测量精度 10pA
最小电压测量精度 100uV
漏电流 <1pA
电容范围 100nF
电容测量精度 10fF
主要测量项目 Id-Vd, Id-Vd, Vth, BV, Ig, Ioff, Gm
MIM_CAP, C & G
Ic-Vc, BETA, BV
Ron, R_tlm, Rsh_van
Spot, Sweep, Search
Kelvin & Non-Kelvin
Differential Voltage
Frequency
HCI, BTI/NBTI, TDDB
DUT类型 MOSFET,BJT, Diode, Resistor, Capacitor等
探针卡适配器 兼容Keysight 4070/4080系列探针卡
工厂自动化 SECS/GEM, Interface-A, EAP

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