特点
支持多种晶圆的WAT测试
支持 Si/GaN/SiC灵活配置Pin数
最多支持48Pin无开尔文与24Pin全开尔文连接,可灵活配置Pin数自研SMU
基于商用或联讯仪器自研SMU板卡最多支持14通道输入
包含8通道Triax和6通道BNC高精度
电流测量精度<1pA,分辨率1fA,最大范围1A;电容测试频率
1kHz到1MHz,100fF到100nF测量范围支持所有主流Prober
TEL P8XL/P12/P12XL/Precio XL,TSK UF200/UF3000/UF3000EX等高适配、全兼容
适配Keysight 4070/4080机台所用的探针卡高效的ptSemight软件环境
软件支持SECS/GEM,可接入客户EAP
参数/配置 | 功能 |
系统pin数 | 3 - 48 pin |
SMU/SPGU数量 | 3 – 8通道/1-4通道 |
标准SMU | 200 V/1 A |
Chuck Bias SMU | 200 V/1 A |
开关矩阵 | 14x48,<100 fA漏电流 |
最小电压/电流分辨率 | 100 nV/1fA |
最小电压/电流测量精度 | 50μV/1pA |
最高采样速度 | 1 M/s |
典型漏电流 | <1 pA |
电容测量范围 | 100 nF |
电容测量Bias电压 | ±40V |
典型电容测量精度 | 0.5% |
SPGU输出幅度/输出频率 | ±40V(开路)/0.1Hz~10MHz |
主要测量项目 |
Id-Vd, Id-Vg, Vth, BV, Ig, Ioff, Gm |
MIM_CAP, C & G | |
Ic-Vc, BETA, BV | |
Ron, R_tlm, Rsh_van | |
Spot, Sweep, Search | |
Kelvin & Non-Kelvin | |
Differential Voltage | |
Frequency | |
HCI, BTI/NBTI, TDDB | |
DUT类型 | MOSFET,BJT, Diode, Resistor, Capacitor等 |
探针卡适配器 | 兼容 Keysight 4070/4080 系列探针卡 |
工厂自动化 | SECS/GEM (E5/E30/E37/E84/E90/E94) |
电压源/表指标 |
||||
电压精度
|
量程 |
分辨率 |
精度(1年)±(%读数+偏置) |
典型噪声(有效值) 0.1 Hz-10 Hz |
±200 V |
100 μV |
0.03%+10 mV |
400 μV |
|
±40 V |
10 μV |
0.03%+2 mV |
100 μV |
|
±20 V |
10 μV |
0.03%+1 mV |
50 μV |
|
±2 V |
1 μV |
0.03%+100 μV |
10 μV |
|
±0.6 V |
100 nV |
0.03%+50 μV |
2 μV |
|
温度系数 |
±(0.15×精度指标)/℃(0℃-18℃,28℃-50℃) |
|||
设置时间 |
<100 μs(典型值,Normal,步进是范围的10%至90%) |
|||
过冲 |
<±0.1%(典型值,满量程点,电阻性负载测试) |
|||
电流源/表指标 |
||||
电流精度
|
量程 |
分辨率 |
精度(1 年) ±(%读数+偏置) |
典型噪声(有效值) 0.1 Hz-10 Hz |
±1 A |
100 nA |
0.03% + 90 μA |
3 μA |
|
±100 mA |
10 nA |
0.03% + 9 μA |
200 nA |
|
±10 mA |
1 nA |
0.03% + 900 nA |
20 nA |
|
±1 mA |
100 pA |
0.03% + 90 nA |
2 nA |
|
±100 μA |
10 pA |
0.03% + 9 nA |
200 pA |
|
±1 μA |
100 fA |
0.03% + 200 pA |
10 pA |
|
±10 nA |
10 fA |
0.06% +9 pA |
300 fA |
|
±1 nA |
1 fA |
0.1% +3 pA |
60 fA |
|
±100 pA |
1 fA |
0.3% +1 pA |
30 fA |
|
温度系数 |
±(0.15×精度指标)/℃(0℃-18℃,28℃-50℃) |
|||
设置时间 |
<100 μs(典型值,Normal,步进是范围的10%至90%) |
|||
过冲 |
<±0.1%(典型值,满量程点,电阻性负载测试) |
|||
温度系数 |
±(0.15×精度指标)/℃(0℃-18℃,28℃-50℃) |
|||
设置时间 |
<100 μs(典型值,Normal,步进是范围的10%至90%) |
|||
过冲 |
<±0.1%(典型值,满量程点,电阻性负载测试) |
精度测量条件:温度 23±5度,湿度35%-60%,系统运行时间1小时,积分时间为LONG(1nA以下)
频率 |
C量程 |
电容测量精度 |
电导测量精度 |
1 MHz
|
1 nF |
2.0% |
2.0% |
100 pF |
1.0% |
2.0% |
|
10 pF |
1.0% |
2.0% |
|
100 kHz
|
1 nF |
0.5% |
1.0% |
100 pF |
0.5% |
1.0% |
|
10 pF |
0.5% |
1.0% |
|
10 kHz
|
1 nF |
0.3% |
0.5% |
100 pF |
0.3% |
0.5% |
|
10 pF |
0.5% |
0.5% |
|
1 kHz
|
1 nF |
0.3% |
0.5% |
100 pF |
0.3% |
1.0% |
|
10 pF |
1.0% |
1.0% |
*Cm 为电容测量值,Gm 为电导测量值,F 为频率
*Dissipation D = Gm/(2*F*Cm)
*电容测量使用Keysight E4980AL;
测量条件:Vrms=30mV,bias=0V,Integration time=LONG,AVG=1
项目 |
测试条件 |
技术指标 |
电压幅值
|
50Ω负载 |
-20V ~ +20V |
开路 |
-40V ~ +40V |
|
输出电压精度 |
开路 |
±(1%+100mV) |
电压幅值分辨率
|
50Ω负载 |
0.2mV ( |Vout| ≤ 5V) |
|
0.8mV ( 5V ≤|Vout| ≤ 20V) |
|
开路 |
0.4mV ( |Vout| ≤ 10V) |
|
|
1.6mV ( 10V ≤|Vout| ≤ 40V) |
|
输出接口 |
|
SMA |
内阻 |
|
50Ω ± 1% |
输出短路电流 |
|
800mA 峰值(400mA均值) |
输出过冲(振铃) |
50Ω负载 |
±(5%+20mV) |
项目 |
子项目 |
技术指标 |
频率范围 |
|
0.1Hz ~10MHz |
脉冲周期 |
可编程范围 |
200nS ~ 10S |
分辨率 |
20nS |
|
精度 |
±1%(0.01%+200pS) |
|
脉冲宽度 |
可编程范围 |
50nS ~(脉冲周期 -50nS) |
分辨率 |
10nS(Tr and Tf ≤ 10 μS) |
|
20nS(Tr or Tf > 10 μS) |
||
精度 |
±(3%+2nS) |
|
脉冲过程时间(Tr和Tf) |
可编程范围 |
30nS ~ 400mS |
分辨率 |
10nS(Tr and Tf ≤ 10 μS) |
|
20nS(Tr or Tf > 10 μS) |
||
最小值(10%~90%边沿) |
30nS(Vamp≤ 5V) |
|
35nS(Vamp≤ 10V) |
||
40nS(Vamp≤ 20V) |
||
60nS(Vamp> 20V) |
||
精度 |
-5%~+5%+25nS(Vamp≤ 10V) |
|
-5%~+5%+40nS(Vamp≤ 20V) |
参数 |
指标 |
工作温度 |
18-28 ℃ |
存储温度 |
-10-50 ℃ |
工作湿度 |
35-60% |
存储湿度 |
<90% |
工作海拔 |
0-2 km |
供电功率 |
200-240 Vac,30 A,50-60 Hz |
电磁兼容 |
满足欧盟EMC标准 |
安全 |
满足欧盟安全标准 |
认证 |
SEMI S2/S8, F47 |
测试机架尺寸(mm) |
600*800*1850 |
测试头尺寸(mm) |
650*765*480 |
测试机架重量 |
约 210 kg |
测试头重量 |
约 100 kg |
场地需求 |
4.6米 x 3米 |
支持探针台 |
TEL/TSK行业标准探针台 |
探针卡 |
兼容Keysight 4070/4080系列用探针卡 |
软件系统 |
Windows 10 Enterprise LTSC |
Algo语言 |
C++和Python |
ptSEMIGHT软件功能 |
测试计划编辑,测试条件和参数Spec设置,晶圆描述,探针台控制,Test API,测量库,测试用例开发,MES接口、SECS/GEM、EAP接入,测试数据管理和分析,校准维护和故障诊断 |
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