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高压台式源表

S3030F

高电压、高功率、大电阻电源/测量单元


联讯仪器S3030F是结构紧凑、经济高效的单通道高电压、高功率电源/测量单元，能够同时输出和测量电压和电流， 能够提供最大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率输出，能广泛地应用在功率半导体特性，GaN、SiC表征，复合材料，高压漏电流等测试和研究领域。S3030F支持传统的SMU SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷， 可支持多机同步，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。 



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  • 特点
  • 规格
  • 软件&固件
  • 驱动
  • 资源

特点

  • 高量程

    量程：±3500 V、±120 mA（直流）、180 W

  • 高分辨率

    最小测量分辨率可达1 fA/100 uV

  • 高采样率

    最高可支持1M的ADC采样率

  • 阈值触发

    硬件高速IO，可实现阈值触发，实现输出测量值和用户系统的高效交互

功能与优势

  • 直流I-V输出能力


    工作条件：
    温度23 °C ± 5 °C
    湿度30% 至 70% 相对湿度
    预热 60 分钟后测量，测量时环境温度变化小于± 3 °C
    校准周期1 年
    测量速度1PLC


电压源指标：

电压设置精度

量程

设置分辨率

精度(1年)

±(%读数+ 偏置)

典型噪声(有效值)

0.1 Hz-10Hz

±3500 V

40 mV

0.02%+600 mV

50 mV

±2500 V

30 mV

0.02%+450 mV

40 mV

±1500 V

20 mV

0.02%+300 mV

25 mV

±600 V

7mV

0.02%+120 mV

10 mV

±200 V

3mV

0.02%+40 mV

3 mV

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

设置时间

<5 mS (典型值)

过冲

<±1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)

噪声10Hz-20MHz

1500V电压源，120 mA电阻负载，<200mV RMS




电流源指标：

电流设置精度

量程

设置分辨率

精度(1年)

±(% 读数+偏置)

典型噪声(有效值)0.1Hz-10Hz

±120 mA1

3 uA

0.02% + 35 μA

120 uA

±20 mA

400 nA

0.02% + 15 μA

20 uA

±10 mA

200 nA

0.02% + 3 uA

10 uA

±1 mA

20 nA

0.02% + 300 nA

1 uA

±100 μA

2 nA

0.02% + 30 nA

100 nA

±10 μA

200 pA

0.03% + 5 nA

10 nA

±1 μA

20 pA

0.03% + 1 nA

1 nA

±100 nA

2 pA

0.2% +100 pA+Vo x 100 fA

100 pA

±10 nA

200 fA

0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA

10 pA

±1 nA

20 fA

0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA

1 pA

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

设置时间

<10 ms (典型值)

过冲

<±1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)

1，120mA量程仅支持1500V及以下电压量程



电压表指标：

电压测量精度

量程

显示分辨率

精度(1年)±(%读数+偏置)

±3500 V

1 mV

0.02%+600 mV

±2500 V

1mV

0.02%+450 mV

±1500 V

1 mV

0.02%+300 mV

±600 V

100 uV

0.02%+120 mV

±200 V

100 uV

0.02%+40 mV

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)



电流表指标：

电流测量精度

量程

显示分辨率

精度(1年)  ±(% 读数+偏置)

±120 mA1

100 nA

0.02% + 35 μA

±20 mA

10 nA

0.02% + 15 μA

±10 mA

10 nA

0.02% + 3 uA

±1 mA

1 nA

0.02% + 300 nA

±100 μA

100 pA

0.02% + 30 nA

±10 μA

10 pA

0.03% + 5 nA

±1 μA

1 pA

0.03% + 1 nA

±100 nA

100 fA

0.2% +100 pA+Vo x 100 fA

±10 nA

10 fA

0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA

±1 nA

1 fA

0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

1，120mA量程仅支持1500V及以下电压量程



电阻表指标(4线)

电阻测量精度

量程

显示分辨率

默认测量电流

典型精度(1年)

±(%读数+偏置)

100 Ω

100 μΩ

100 mA

0.075% + 400 mΩ

1 kΩ

1 mΩ

10 mA

0.07% + 4 Ω

10 kΩ

10 mΩ

1 mA

0.07% + 40 Ω

100 kΩ

100 mΩ

100 μA

0.07% + 400 Ω

1 MΩ

1 Ω

10 μA

0.10% + 4 kΩ

10 MΩ

10 Ω

1 μA

0.15% + 40 kΩ

100 MΩ

100 Ω

100 nA

0.32% + 400 kΩ

1 GΩ

1 KΩ

10 nA

0.32% + 4 MΩ

10 GΩ

10 KΩ

1 nA

0.72% + 40 MΩ

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/℃ (0℃-18℃，28℃-50℃)

手动电流源电阻测量

(四线)

总体误差=测量电压/电流源设定电流=电阻读数x(电压源量程的增益误差百分比+电流表量程的增益误差百分比+电流源量程偏置误差/设定电流)+(电压源量程偏置误差/设定电流值)

示例：电流源设定电流=10mA 电压测量量程=200V

总体误差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA)

≈0.07%+4Ω

注：测量电压=默认测量电流*被测电阻值≤10.5V




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