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激光器测试

CT6201-DC

联讯仪器 CT6201 是全自动的 CoC 测试系统,便捷高效使其成为 CoC 大规模量产的最佳选择。
采用和联讯仪器BI6201相同的测试夹具,降低了被测芯片上下料的流程,同时也消除了上下料过程中EOS/ESD潜在风险。
专利设计的光功率耦合系统设计,确保了光学耦合和光谱测量的快速性和重复性。

特有的双测试载台设计,每个载台可以独立温控,节省升降温等待的时间,配合CoC夹具双侧并行测试,大大提高了测试吞吐率。


特点

  • 温度范围大,稳定性高

    温度控制范围大:25-100°C 
    温度稳定度高:<±0.2°C
  • 测试效率高

    双测试载台,支持双侧面并行测试
    自动上下夹具,降低了人为参与的复杂性和出错概率
    极高的测试速度:每个CoC测试时间<9s;
  • 重复性高

    阈值电流重复性:<±0.5%
    功率重复性:<±1%
    波长重复性:<±0.05nm
    SMSR重复性 <5dB
  • 扩展性高

    支持直流或者脉冲电源驱动激光器;
    集成联讯仪器精密源表;
系统参数 芯片类型 CoC
夹具类型 支持CoC老化系统相同的夹具
标准48pcs芯片夹具(可以定制)
上下夹具 自动上下夹具
夹具ID扫描识别 自动夹具Barcode扫描识别
并行测试 CoC夹具双侧面并行测试
标准样品控制 软件支持标准样品管控功能。如果标准样品在本机台测试超过时间周期(可配置),系统自动告警
测试机台控制 软件支持测试机台管控功能,如果相同夹具在老化前后分别在不同的测试机台进行测试,软件会自动产生告警提示。
测试配置管控 软件支持测试配置管控,包括测试仪表,测试算法,测试序列,测试结果判断等。
测试数据 支持用户要求的所有测试数据/支持MES相关的需求
电学指标 SMU类型 标准精密源表
直流电流 3A
I/V 源分辨率 10fA/100nV
I/V 测量分辨率 10fA/100nV
电压范围 70V
脉冲电流 10.5A
EOS 无EOS(任何正常操作和使用条件下)
光学指标 光功率测量探测器类型Ge
光功率波长范围 1200-1700nm(可扩展到700~1700nm)
光功率测量范围 10uW-300mW(>25mw需加衰减片)
光功率测量精度 <0.2dB
光谱测量范围 集成横河AQ6360 或其他光谱仪
光谱测量精度
光功率耦合效率 耦合功率〉-15dBm@光谱测量
温度控制指标 温度控制方法 TEC
温度区域 2 个独立的温度控制区域(双载台)
温度范围 25-100℃
温度变化速度(升温/降温) 8℃/分钟
温度分辨率 0.01℃
温度精度 <±0.5℃
温度一致性 <±0.5℃
温度稳定性 <±0.2℃
测试参数 Ith重复性 ±0.5%
功率重复性 ±1%
SE 重复性 ±2%
VF 重复性 ±5%
波长重复性 <±0.05nm
SMSR 重复性 <5dB

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