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晶圆级可靠性

WLR0100

联讯仪器 WLR0100通晶圆级可靠性测试系统,可针对半导体器件和半导体晶圆级别分别进行不同封装级别的可靠性测试。针对器件级别可配置双温区,16 个老化板,每个老化单板支持 32 路通道独立采样老化,同时进行最大 512 路产品的可靠性测试。针对晶圆级别,支持晶圆的尺寸和探针数可定制,通道数可扩展。

特点

  • 电压范围

    0-200V 软件可设
  • 通道硬件独立限流

    0-10mA 软件可设
  • 监控电流采样速率

    最小 10nA 精度
    单板32颗产品轮询在1秒扫描完成
  • 独立双温区

    最高支持 200 度
  • 单板支持通道

    32 通道
  • 通道独立档位

    可满足精度和量程要求 ,并且通道独立
  • 产品异常保护功能

    需要有过流过压保护功能 ,保护阈值可以设置 ,过流保护响应时间<100ns, 过冲<5%
  • 老化箱支持氮气接入保护

电流电压源指标
电压设置精度 量程 设置分辨率 精度(1 年)±(%读数+偏置)
200V 0.01V 0.1%RD+100mV
100V 0.005V 0.1%RD+50mV
20V 0.001V 0.1%RD+10mV
过冲 <1% (典型值)
单板通道数量 32
电流限流采样精度 量程
电流限制 通道独立设置最大 10mA 限流
量程 显示分辨率 精度(1 年)±(%读数+偏置)
10mA 500nA 0.1%RD+10uA
1mA 50nA 0.1%RD+1uA
100uA 5nA 0.1%RD+0.1uA
10 uA 500 pA 0.1%RD+10nA
1uA 50 pA 0.1%RD+1nA
100nA 5 pA 0.1%RD+100pA
10nA 500fA 0.1%RD+10pA

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