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晶圆级可靠性

EDH3101W

联讯仪器提供专业的低功率半导体器件在高温高湿条件下的加电可靠性测试系统,该系统可针对多种材料的半导体,提供高温85℃和85%湿度条件下的加电老化和数据监控,能够及时捕捉器件的失效电流变化,帮助客户提高半导体产品的可靠性。

特点

  • 大容量

    共支持216颗DIP封装的老化
  • 监控参数完整

    包括监控GS/BE电压电流,DS/CE电压电流
  • 高温高湿可靠性

    恒IDS/ICE控制老化功能
  • 图形化显示不同监控参数值

    包括温度、GS/BE电压电流,DS/CE电压电流
  • 支持软件定制开发

    可连接客户MES系统和数据库
  • 防呆功能

    支持开门报警,开门断电等
  • 数据保护

    内置UPS电源,有效保护老化过程中异常数据的丢失
  • 满足EOS、ESD防护及EHS要求

功能与优势

  • 软件界面简约直观

    联讯仪器的EDH3101W测试软件平台为可配置性平台,用户界面简约直观。
系统功能 外形尺寸(mm) 800*2000*1700+1000*2000*1000
支持夹具类型 标准DIP夹具
系统支持TO数量 218个
系统温区 独立两个温区
SN批量输入 支持夹具上条码识别,批量输入产品SN
MES系统接口 支持定制开发对接客户的MES系统和数据库
数据保存 测试原始数据、计算结果、系统运行详细日志的保存
系统供电 380V
温度控制 温度范围 常温到85℃
温度升温速度 >3℃/分钟(空载)
>1.5℃/分钟(满载)
温度控制精度 0.1℃
温度准确性 ±1℃
温度均匀性(空间9点产品位置) ±2℃满载(≤80℃)
电器参数 驱动板类型 每个通道独立操作和控制
VGS/VBE电压范围 -5V~5V精度<1%FS
IGS/IBE电流范围 -2mA~2mA精度<1%FS
VDS/VCE电压范围 0~15V精度<1%FS
IDS/ICE电流范围 0~100mA精度<1%FS
恒IDS/ICE老化功能 自动调节VGS/VBE,使IGS/ICE恒定电流老化
安全保护 正常操作下电 正常
正常操作上电 正常
市电掉电 正常
市电上电 正常
ESD 使用防ESD材料
表面电阻:1×10^5Ω< X<1×10^9Ω;
摩擦电压:<100V; Grounding;
系统中所有孤立导体必须接地处理,所有仪表必须接地处理,机架必须接地处理,接地电阻<4ohm
鼠标键盘需要防ESD处理
安全 设备没有尖锐棱角,没有漏电风险
清洁 系统没有掉屑,掉漆和生锈现象

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