晶圆老化系统 WLBI370A-苏州联讯仪器股份有限公司

特点

支持SiC晶圆产品老化
可以兼容6&8英寸的SiC晶圆
测试功能丰富
支持参数测试Igss、Vth.
支持在线编辑测试Recipe，SPE
全自动老化系统
支持1500通道/层同时老化
最多支持50PCS晶圆cassette（20PCS晶圆同时老化）
全自动化集成
晶圆卡塞上料全自动化集成
支持针痕重复定位精度±25um
高精度漏电流测试
最高精度漏电流分辨率可达到0.1nA
耐高温设计
抽屉加热相关都耐180℃设计
温度精控
均匀性±1.5℃，准确性＜1℃，分辨率0.1℃
产品异常保护功能
系统硬件过流保护，支持氮气保护，防止PAD氧化

功能与优势

系统结合了老化系统和上下料系统一体机的形式，该设备提供了更多的老化通道，可以支持每片晶圆1500路通道同时老化，也提供了更多的老化抽屉，支持20个抽屉（晶圆）同时进行老化。通过更换不同的老化夹具以及配套治具，支持6英寸和8英寸的晶圆老化需求的快速切换。

栅极电压源指标

电压设置精度	量程	设置分辨率	精度(1年) ±(%读数+ 偏置)
	±70 V	1m V	0.1%+0.2 V
过冲	<1% (典型值)
总功率	30W
通道数量	1（每个老化大单层）

栅极电压表指标

电压表显示精度

量程

显示分辨率

精度(1年)

±(% 读数+偏置)

±70V

1mV

0.1%+0.2 V

通道数量

1（每个老化大单层）

栅极电流表指标

电流显示精度	量程	显示分辨率	精度(1年) ±(% 读数+偏置)
	100 μA	10 nA	0.1% + 10nA
	10μA	1nA	0.1% + 5nA
	1 μA	0.1 nA	0.1% + 1 nA
	100 nA	10 pA	1% + 0.5 nA
通道数量	16路,（每个老化大单层）

栅极电流源（VTH能力）

电流显示精度	量程	显示分辨率	精度(1年) ±(% 读数+偏置)
	100mA	10uA	0.1% + 100 μA
	10 mA	1uA	0.1% + 10 μA
	1 mA	100 nA	0.1% + 5 μA
通道数量	1路（每个老化大单层）

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