AL3500A-苏州联讯仪器股份有限公司

晶圆级老化

AL3500A

晶圆自动上下料系统

AL3500A是配合联讯仪器高压晶圆老化系统WLR3500进行上下料操作，属于配套设备，可以辅助操作人员完成晶圆的对位和夹具的自动安装。

申请样机

特点

适配产品
4-6寸晶圆自动Load/Unload
产品厚度>150 um
数量
晶圆数量≤25 pcs
夹具数量≤6 pcs
装载速度
<5 min/pcs
扎针定位精度
±25 um

功能与优势

系统架构

产品特性	使用产品封装	4寸，6寸wafer
	系统尺寸	1500 mm(W)×1800 mm(H)×1400 mm(D)
	系统功耗	3 kW
技术指标	晶圆数量	≤25 pcs
	夹具数量	≤6 pcs
	装载速度	<5 min/pcs
	扎针定位精度	±50 um

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