晶圆老化系统 WLBI3700-苏州联讯仪器股份有限公司

特点

同时支持HTGB
相比 GB&RB 兼容，这个有更高的容量
测试功能多
支持参数测试Lgss、Igss、Vth.
实时监控栅极电流
及时发现产品异常，记录异常时的数据
电流最小测量分辨率可达0.1nA
精确测量漏电流
耐高温设计
加热组件和夹具耐高温，满足175℃老化需求
支持氮气保护
防止PAD氧化
产品异常保护功能
系统硬件过流保护，短路电流瞬时响应
加热功率，温控精度
温度均匀性120℃~175℃为±3 ℃、准确性<1 ℃、分辨率0.1 ℃；小于120 ℃为±2 ℃，准确性<1 ℃、分辨率0.1 ℃

功能与优势

夹具设计

夹具分为两个部部分Chuck和Probe card。每个老化夹具可以装一片6寸晶圆或者8寸晶圆。

Probe card装有满足晶圆上die通道数量的Pogo Pin，Pogo Pin寿命为10万次压接，耐温175度，定位精度为±25um。

Chuck外框密封保压设计，最高保压0.4mPa,防止高温氧化。Chuck 内有两个温度sensor，一个作为控温使用，另一个为温度保护监控。
单层抽屉设计

每层老化系统可以独立运行，内部12块继电器板，12块电流采集板满足1500CH 晶圆老化。每个通道电路支持单路保护，当有die短路失效，可以保护线路安全，也可保护旁边产品不受影响。
整机设计
整机分为老化单层部分和电气部分。居于机架左侧，分别放置8层老化单层。机架右侧为电气箱，每层独立一个电气箱，支持每层独立运行。

栅极电压源指标
电压设置精度	量程	设置分辨率	精度(1年) ±(%读数+偏置)
	±70 V	10 mV	0.1%+0.2 V
	±20 V	5 mV	0.1%+0.1 V
过冲	<1% (典型值)
总功率	30 W
通道数量	1路（每个老化大单层）
栅极电压表指标
电压表显示精度	量程	显示分辨率	精度(1年) ±(%读数+偏置)
	±70 V	10 mV	0.1%+0.2 V
	±20 V	5 mV	0.1%+0.1 V
通道数量	1路（每个老化大单层）
栅极电流表指标
电流显示精度	量程	显示分辨率	精度(1年) ±(%读数+偏置)
	10 μA	500 pA	0.1% + 50 nA
	1μA	50 pA	0.1% + 5 nA
	100 nA	10 pA	0.1% + 0.5 nA
通道数量	12路（125路一个表）

同类推荐

光网络测试

光通信网络作为信息通信的基础设施，对我国大数据、云计算、5G通信等市场的快速发展起重要的承载支撑作用，联讯仪器光通讯仪表深度覆盖光模块光器件等核心产品的测试测量，包括采样示波器，误码仪，波长计，光谱仪，流量仪以及通用光测量仪表等，提供经济高效的完整解决方案。

Details

电性能测试

高精度源表集合电压源、电流源、电压表、电流表、电子负载的功能于一身，广泛应用于各类分立元器件，光伏，新能源，电池等行业的高精度测试测量，联讯仪器提供高精度的台式源表及标准PXIe机箱的插卡式PXIe源表模块，充分满足各种不同测试场景的应用。

Details

光芯片测试

激光器的老化及测试是保障激光器可靠性的重要方法，通过对COC或者裸die的测试，提早筛选出激光器生产过程中由于工艺工序的缺陷导致的激光器早期失效。联讯仪器提供从裸die到COC，从高温到低温-40℃的完整解决方案。联讯仪器的激光芯片老化测试方案已获得市场广泛认可。

Details

功率芯片测试

半导体前道检测主要用于晶圆加工环节，目的是检查每一步制造工艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求或者存在影响良率的缺陷，半导体后道测试设备主要是用在晶圆加工之后、封装测试环节内，目的是检查芯片的性能是否符合要求，属于电性能的检测。联讯仪器提供晶圆老化及半导体参数测试机等集成解决方案，打破了国外企业的长期垄断，不断提升国产半导体设备的进口替代率。

Details

Site Map