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晶圆级可靠性

EDH3101W

双85可靠性测试系统


联讯仪器双85可靠性测试系统 EDH3101W应用于不同材料HBT及pHEMT(增强型/耗尽型)器件高温高湿环境下的长时间可靠性试验。EDH3101W双85老化系统提供的Vds/Vce电源由二级驱动板电源提供,Vgs/Vbe老化电压由自制可调系统根据Ids/Ice电流值反馈控制供给。试验过程中系统自动恒定每个试验工位的Ids/Ic电流、Vds/Vce电压,确保每个试验工位自动调整到一致的试验条件状态下,并进行实时调节ds/ce端电流,监控gs/be、ds/ce端的电压、电流,达到可靠性老化筛选的功能。


特点

  • 大容量

    共支持216颗DIP封装的老化
  • 监控参数完整

    包括监控GS/BE电压电流,DS/CE电压电流
  • 高温高湿可靠性

    恒IDS/ICE控制老化功能
  • 图形化显示不同监控参数值

    包括温度、GS/BE电压电流,DS/CE电压电流
  • 支持软件定制开发

    可连接客户MES系统和数据库
  • 防呆功能

    支持开门报警,开门断电等
  • 数据保护

    内置UPS电源,有效保护老化过程中异常数据的丢失
  • EOS、ESD、EHS

    满足EOS、ESD防护及EHS要求

功能与优势

  • 软件界面简约直观

    联讯仪器的EDH3101W测试软件平台为可配置性平台,用户界面简约直观。
系统功能 外形尺寸(mm) 800*2000*1700+1000*2000*1000
支持夹具类型 标准DIP夹具
系统支持TO数量 218个
系统温区 独立两个温区
SN批量输入 支持夹具上条码识别,批量输入产品SN
MES系统接口 支持定制开发对接客户的MES系统和数据库
数据保存 测试原始数据、计算结果、系统运行详细日志的保存
系统供电 380V
温度控制 温度范围 常温到85℃
温度升温速度 >3℃/分钟   (空载)
>1.5℃/分钟(满载)
温度控制精度 0.1℃
温度准确性 ±1℃
温度均匀性(空间9点产品位置) ±2℃满载(≤80℃)
电器参数 驱动板类型 每个通道独立操作和控制
VGS/VBE电压范围 -5V~5V        精度<1%FS
IGS/IBE电流范围 -2mA~2mA  精度<1%FS
VDS/VCE电压范围 0~15V         精度<1%FS
IDS/ICE电流范围 0~100mA     精度<1%FS
恒IDS/ICE老化功能 自动调节VGS/VBE,使IGS/ICE恒定电流老化
安全保护 正常操作下电 正常
正常操作上电 正常
市电掉电 正常
市电上电 正常
ESD 使用防ESD材料
表面电阻:1×10^5Ω< X<1×10^9Ω;
摩擦电压:<100V; Grounding;
系统中所有孤立导体必须接地处理,所有仪表必须接地处理,机架必须接地处理,接地电阻<4ohm
鼠标键盘需要防ESD处理
安全 设备没有尖锐棱角,没有漏电风险
清洁 系统没有掉屑,掉漆和生锈现象

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