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晶圆级可靠性

WLR0100

晶圆级可靠性测试系统


联讯仪器 晶圆级可靠性测试系统 WLR0100 可针对半导体器件和半导体晶圆级别分别进行不同封装级别的可靠性测试。针对器件级别可配置双温区,16 个老化板,每个老化单板支持 32 路通道独立采样老化,同时进行最大 512 路产品的可靠性测试。针对晶圆级别,支持晶圆的尺寸和探针数可定制,通道数可扩展。

特点

  • 电压范围

    0-200V 软件可设
  • 通道硬件独立限流

    0-10mA 软件可设
  • 监控电流采样速率

    最小 10nA 精度
    单板32颗产品轮询在1秒扫描完成
  • 独立双温区

    最高支持 200 度
  • 单板支持通道

    32 通道
  • 通道独立档位

    可满足精度和量程要求 ,并且通道独立
  • 产品异常保护功能

    需要有过流过压保护功能 ,保护阈值可以设置 ,过流保护响应时间<100ns, 过冲<5%
  • 老化箱支持氮气接入保护

功能与优势

  • DIP封装的Burn-in Board

    配套Burn-in Board采用金手指结构,下图为典型的DIP封装Burn-in Board。
  • 联讯WLR0100测试软件平台为可配置性平台,包括以下功能:

    支持在线产品的在位预检功能,可以检测用户是否插拔接触良好;
    支持老化可靠性任务的灵活编辑和配置,进行可靠性测试;
    提供直观的数据显示和数据分析功能;
    支持用户权限管控,分工程师,技术员和操作员三个权限级别。


技术指标

支持DUT DIP or TO247 Burn-in Board
测试温度范围 (环温+20)℃~+200℃










电参数

测试参数 测试原始数据、计算结果、系统运行详细日志的保存
Channel 高达384 ch
驱动板 独立的32 ch的电流、电压监控
系统驱动板 12块驱动板独立调节电压、限流
Vth扫描测试 Range:0V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV;
饱和电流测试 ≤10mA



漏电流范围及精度

Range:1mA~10mA ,Accuracy:0.5%RD±50uA;
Range:100uA-1mA ,Accuracy:0.5%RD±500nA;
Range:10uA-100uA ,Accuracy:0.5%RD±50nA;
Range:1uA-10uA ,Accuracy:0.5%RD±5nA;
Range:0nA-1uA ,Accuracy:0.5%RD±500pA;
电压源范围及精度 Range:0V~20V ,Accuracy:0.5%RD±50mV;
Range:20V~200V ,Accuracy:0.5%RD±500mV;
数据监控 支持电压、电流的监测并上传PC客户端,在试验全过程检测记录每
个试验工位的参数,并绘制输出曲线和Excel数据报告







温度参数

测试环境条件 环境温度为+25℃、试验箱内无试样无换气条件下
测试方法 GB/T 5170.2-2017 温度试验设备
温度范围 (环境温度+20)℃~+200℃
温度波动度 ≤100℃时:0.4℃(如按 GB/T 5170.2-1996 表示,则为±0.2℃)
≤200℃时:0.4℃(如按 GB/T 5170.2-1996 表示,则为±0.2℃)
温度偏差(空载) ≤100℃时:±1.5℃;≤200℃时:±2.0℃
温度偏差(满载) ≤100℃时:±2.0℃;≤200℃时:±3.0℃






气体参数

流体 N2、CO2(常温,干燥气体)



流体压力

气源压力要求:
≥1MPa (10kg/cm²)(101、201、301 型号);
≥1.5MPa (15kg/cm²)(401 型号);
阀门进口端允许最高压力:
2.0kg/cm²(101、201、301 型号);
5.0kg/cm²(401 型号)
流量 最大流量:30L/min(101、201、301 型号);250 L /min(401 型号)
气源接口 气源接口要求:快插式气动管直通,规格φ10mm

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