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脉冲源

S3023P

单通道高压半导体测试脉冲源



讯仪器S3023P 是单通道半导体测试脉冲源,能够输出可调高精度高压脉冲源。


特点

  • 高电压范围大

    ±40V,满足NVM测试技术条件
  • 高电压变化率快

    1000V/us,可产生较快边沿的高压脉冲源
  • 标准脉冲模式

    三电平脉冲,周期:40ns~10s
  • 延迟可调整

    时间:0~9.999s,分辨率:2.5ns
  • 高速测量

    500MS/s,及时诊断出负载阻抗
  • 脉冲数可调

    范围:1~100,000个
  • 电压检测最小采样周期

    5us
  • 电平定时触发

    TTL电平,脉冲周期同步




技术指标

  • 工作条件:

    温度23℃±5℃
    湿度30%至70%相对湿度 预热60分钟后测量,测量时环境温度变化小于±3°C
    校准周期1年
    测量速度1PLC


脉冲或直流输出电压指标

项目 测试条件 技术指标 备注

电压幅值


50Ω负载 -20V ~ +20V



开路 -40V ~ +40V



电压幅值分辨率



50Ω负载

0.2mV |Vout| ≤ 5V
0.8mV 0.5V ≤|Vout| ≤ 20V


开路
0.4mV |Vout| ≤ 10V
1.6mV 10V≤|Vout| ≤ 40V
输出接口


SMA


内阻


50Ω ± 1%


输出短路电流


800mA 峰值(400mA均值)


输出过冲(振铃) 50Ω负载 ±(5%+20mV)



脉冲或直流输出电压指标(均以50Ω终端负载,应是开环控制指标,高速脉冲)

项目 子项目 技术指标 备注
频率范围


0.1 ~ 33MHz



脉冲周期



可编程范围 40ns ~ 10s


分辨率 10ns


最小周期 100ns Vamp ≤ 10V
精度 ±1%(0.01%+200ps)




脉冲宽度



可编程范围 20ns ~(脉冲周期 -10ns)



分辨率

2.5ns Vamp<10V
20ns Vamp>10V
最小值(10%~90%边沿) 120ns


精度 ±(3%+2ns)






脉冲过程时间(Tr和Tf)





可编程范围 20ns ~ 400ms



分辨率

2ns Tr+Tf≤10us
20ns Tr+Tf>10us



最小值(10%~90%边沿)


30ns Vamp≤ 5V
35ns Vamp≤ 10V
40ns Vamp≤ 20V
60ns Vamp> 20V


精度

-5%~+5%+25ns Vamp≤ 10V
-5%~+5%+40ns Vamp≤ 20V


SPGU补充指标

项目 技术指标 测试条件
脉冲宽度抖动 0.001%+150ps


脉冲周期抖动 0.001%+150ps


最大电压摆率 1000V/us Vamp=40V(50Ω Load)
输出噪声 20mVrms


高级功能:
电压监测 SPGU监测测试单元终端电压


测量精度 ±(0.1%+25mV)


测量分辨率 50uV


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