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硅光晶圆测试

硅光是以光子和电子为信息载体的硅基光电子大规模集成技术，能够大大提高集成芯片的性能，是大数据、人工智能、移动通信等新兴产业的基础性支撑技术，可广泛应用于大数据中心、5G、物联网等产业。硅光技术，利用硅材料中的光子、电子及光电子器件的工作机理和光电特性，采用与集成电路兼容的微纳米加工工艺，在硅晶圆上开发制造光电子芯片。
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