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高精度源表在晶圆暗电流测试中的规模应用
大多数光电探测器即使在没有任何光输入的情况下，也常常存在一些微量的直流电流，我们称之为暗电流。在半导体光电探测器中，暗电流通常是样品在外延生长中引入的晶格缺陷（体表以及体内）以及器件制备工艺中引入的晶格损伤（如刻蚀）导致的局部击穿漏电效应，也是光电探测器制备过程中较为棘手的问题。联讯仪器晶圆暗电流测试机采用联讯仪器自研高精度源表（SMU）进行暗电流的测试，支持384个SMU通道的大容量测试，各种特
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